半導体塗布絶縁材料 | ラサ工業株式会社
ウェブラサ工業はHoneywell社の塗布平坦化材料スピン・オン・ガラス (SOG)を手がけて、半導体の配線上に層間絶縁膜の段差緩和や溝埋め込みに用いる材料を提供しています。 …
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SOG（spin-on-glass） | 半導体用語集 |半導体/MEMS ...
ウェブ英語表記：spin-on-glass. SOG液は、膜となるシロキサン成分と溶媒としてのアルコールなどから調整される。. この溶液をスピンコート法により基板上に塗布し、熱処 …
SOGの意味・役割とは？【半導体プロセス】 | 「楽読 …
ウェブ2023年7月3日 · SOGの意味・役割. 半導体プロセスにおけるSOGとは「Spin on Glass」の略で、0.1～1μm程度のガラス膜をウエハ上に成膜するための溶液です。. 半導体プロセスでSOGを使用する主な目的は、ウエハ表面の平坦化です。. 上図のように、ウエハ表面の段差部分に ...
塗布シリコン酸化膜（SOG : Spin 0n Glass） | 半導体用語集 ...
ウェブ塗布シリコン酸化膜. 英語表記：SOG : Spin 0n Glass. 有機溶媒中に溶かされた絶縁膜材料をウェハ上に回転塗布し,塗布後の熱処理工程により薄膜を形成する方法を塗布法 …
SOG法(エスオージーホウ)とは？ 意味や使い方 - コトバンク
ウェブ化学辞典 第2版 - SOG法の用語解説 - スピンオングラス法ともいう．低温でSiO2などの絶縁膜や金属薄膜を形成する方法．SiO2膜形成では，テトラオルトシリケートまた …
Spin-On-Glass SoG Applications, Benefits | University Wafer
ウェブ2018年10月1日 · Learn about the spin-on-glass technology, a process of creating thin films of silicon and other materials on silicon wafers using a spin-coater. Find out the …
ウェブ多層配線の層間絶縁膜平坦化技術として,種 々の方法 が提案されている.その中でSOG(Spin-on-Glass)に よる平坦化は,SOG溶 液の回転塗布と熱処理により, 簡単にか …
ウェブしかし一般の半導体製造工程では取り扱いの危険, ,なシラン系ガスを用いた拡散や高額なイオン注入装置,が用いられており設備投資が必要である。,そこで本稿では低廉に接 …
Spin On Glass | Stanford Nanofabrication Facility
ウェブSpin On Glass | Stanford Nanofabrication Facility. Preferred Short Name: SOG. Chemical Formula: Various SOGs. Spin On Glass (SOG) is made up of Silicon Oxides …
ウェブThe 'spin- on-glass' films can be applied as sources of dopants for diffusion processes, and also as catalytic, sensor, dielectric, pro- tective, masking coatings or as getters or …
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