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WEBスピンコートは、基板表面に液体を塗布した後、基板を一定時間高速に回転することで基板上に薄膜を作製する方法である。 基板の回転により液体は半径方向へ広がり、均一 …
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【レジスト塗布】スピンコートとは？装置の原理 | Semiジャーナル
WEBスピンコートは、「ウェーハの中心に薬液を滴下した後、高速回転することでウェーハ上に均一に薬液を塗布する工程」です。 装置はスピンコーターと呼ばれます、高速で回 …
成膜加工に用いられるスピンコート法とは？スピンコーター ...
WEBスピンコート法とは、スピンコーター、またはスピナーと呼ばれる機械を用いて成膜加工を行う方法です。 スピンコーターで塗布対象物の中心付近に垂らしたコーティング液 …
スピンコート法（spin coat method） | 半導体用語集 |半導体 ...
WEBスピンコート法. 英語表記：spin coat method. 薄膜材料である薬液をウエーハ上に滴下し、1000~6000回転/minで回転塗布する方法。. 薬液が塗布時に数μm~10数μm流動して下 …
WEBスピンコートとディップ（浸せき－引き上げ）コートであり，薄膜の研究開発段階で多用されている。 スピンコートは回転遠心力を利用した塗布方法で膜厚調整 が容易であ …
レシピ設定方法・ステップの考え方 | スピンコーター | スピン ...
WEBレシピの設定方法とステップの考え方. アクティブの スピンコーター は 10ステップ・100パターン のレシピが全機種に標準装備されています。 1レシピは10ステップに区 …
JPH0722305A - フォトレジスト膜の形成方法 - Google Patents
WEB【0003】高さTa，幅Haの段差部22を有する基板21 にスピンコート法によりフォトレジスト23を塗布した状 態が図6(b)である。 基板21の平坦部上の膜厚23aは均一 であるが …
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