半導体塗布絶縁材料 | ラサ工業株式会社
ウェブスピン・オン・ガラス (SOG)とは. 0.1～1μm程度のガラス膜をスピンコートで形成する材料です。 主に半導体の配線上に形成された層間絶縁膜の段差緩和や配線間の溝埋め込み（Gap Fill）に用いられます。 液体の塗布という特徴を活かして、ウエハー上のパターン凹みを容易に埋め込むことができますので、再現性良く配線の平坦化ができます。 …
SOG（spin-on-glass） | 半導体用語集 |半導体/MEMS ...
ウェブ英語表記：spin-on-glass. SOG液は、膜となるシロキサン成分と溶媒としてのアルコールなどから調整される。. この溶液をスピンコート法により基板上に塗布し、熱処理で溶媒などを蒸発させ、膜を硬化するとSOG絶縁膜が形成される。. SOGとは、これら溶液 …
SOGの意味・役割とは？【半導体プロセス】 | 「楽読書」.com
ウェブ2023年7月3日 · SOGの意味・役割. 半導体プロセスにおけるSOGとは「Spin on Glass」の略で、0.1～1μm程度のガラス膜をウエハ上に成膜するための溶液です。. 半導体プロセスでSOGを使用する主な目的は、ウエハ表面の平坦化です。. 上図のように、ウエハ表面の段差部分に ...
塗布シリコン酸化膜（SOG : Spin 0n Glass） | 半導体用語集 ...
ウェブ塗布シリコン酸化膜. 英語表記：SOG : Spin 0n Glass. 有機溶媒中に溶かされた絶縁膜材料をウェハ上に回転塗布し,塗布後の熱処理工程により薄膜を形成する方法を塗布法 (SOD : Spin On Deposition) と呼び、塗布法で形成された薄膜を塗布膜と呼ぶ。. 一般的な熱処 …
SOG法(エスオージーホウ)とは？ 意味や使い方 - コトバンク
ウェブ化学辞典 第2版 - SOG法の用語解説 - スピンオングラス法ともいう．低温でSiO2などの絶縁膜や金属薄膜を形成する方法．SiO2膜形成では，テトラオルトシリケートまたはTEOS (テオス；テトラエトキシシランの略称)とよばれる原料を加水分解，重縮合することに ...
Spin-On-Glass SoG Applications, Benefits | University Wafer
ウェブ2018年10月1日 · The planarized spin - on glass (SOG) - forms next to the first silicon oxide layer. The high selectivity of etching is crucial to remove the previous etching step and protect the metal from etching. In our work, the suction is applied to a glass layer and the CVD (silicon oxide barrier layer) is slowly etched.
ウェブ多層配線の層間絶縁膜平坦化技術として,種 々の方法 が提案されている.その中でSOG(Spin-on-Glass)に よる平坦化は,SOG溶 液の回転塗布と熱処理により, 簡単にかつ高スル-プ ットで絶縁膜が形成できるので, LSIの製造プロセスとしてよく用いられている. Al配線間の層間絶縁膜としてSOG膜 を使用する場 合には,熱処理温度が400℃ …
ウェブしかし一般の半導体製造工程では取り扱いの危険, ,なシラン系ガスを用いた拡散や高額なイオン注入装置,が用いられており設備投資が必要である。,そこで本稿では低廉に接合を形成できる手法と, p-nしてスピンオングラス(以下)を用いた固層拡散, SOG法を ...
Spin On Glass | Stanford Nanofabrication Facility
ウェブSpin On Glass | Stanford Nanofabrication Facility. Preferred Short Name: SOG. Chemical Formula: Various SOGs. Spin On Glass (SOG) is made up of Silicon Oxides suspended in solvents. Formulations can also include doping materials. SOGs are deposited using a spin coater. PROM requests. Request to use SOG in SNF.
ウェブThe 'spin- on-glass' films can be applied as sources of dopants for diffusion processes, and also as catalytic, sensor, dielectric, pro- tective, masking coatings or as getters or planarizing layers. This way of
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