MEMS （Micro-Electro-Mechanical Systems）とは、マイクロメートル単位の微小な機械部品や センサー 、電子回路などを組み合わ複合的な電子部品。 特に、半導体製造技術を応用し、電子基板上に機械的な仕組みと制御用の 集積回路 を一体的に形成したものを指すことが多い。

MEMSとは「Micro Electro Mechanical Systems」の略で、日本語に直訳すると「微小電気機械システム」といいます。 半導体集積回路の製作技術を発展さ微細加工（マイクロマシニング）により、数十μm単位の歯車などの「動く部品」や立体物をシリコンやガラスといった薄い基板（ウエハ）の上に制作します。

MEMSとはMicro Electro Mechanical Systems（微小電気機械システム）の略で、微小な立体構造（3次元構造）を持ち、様々な入力・出力信号を扱うシステムの総称です。 微細加工技術によって、機械要素部品,電子回路,センサ,アクチュエータが一つの基板上で集積化ができる高付加価値デバイスです。

MEMS（＝Micro Electro Mechanical Systems）」は、電気回路と微細な機械構造を、一つの半導体基板上に集積さデバイス（部品）で、半導体製造技術やレーザー加工技術等、各種の微細加工技術を応用し、微小な電気要素と機械要素を一つの基板上に組み込んだセンサー、アクチュエーターなどのデバイスやシステムのことを指します（図1）。