- 1つの基板の上に電子回路と機械要素を持った立体構造のデバイスMEMSは基本的に1つの基板の上に電子回路と機械要素を持った立体構造のデバイスです。 一方でICやLSIは機械要素をまったく持たず電子回路を集積化したもので、MEMSと比較してもトランジスタなどの素子数が圧倒的に多く、電気信号を処理することに特化しています。product.minebeamitsumi.com/tech/mems/about/comparison.html
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WEBMEMSは半導体と機械構造を組み合わせて誕生し、産業の発展に寄与してきました。ここでは集積回路とMEMSの違いや、MEMSの歴史について紹介します。
MEMSメモリ - Wikipedia
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