MEMSは、Micro Electro Mechanical Systems（微小電気機械システム）の頭文字をとった略称です。 MEMSデバイスは、センサーやアクチュエーター、スイッチなどの機械要素部品と各種の電子部品を、シリコン、ガラス、有機材料などの基板上に、微細加工技術を用いて集積したものです。