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[23a-12H-3] 圧電薄膜積層MEMSアクチュエータへの応用を ...
MEMS市場| 市場規模 市場調査 予測 2029年まで
VO2切り紙薄膜を用いた大変位・多自由度熱駆動MEMS ...
第199回電子セラミック・プロセス研究会プログラム
[23a-12K-6] 二次元電子材料の積層角度を制御するMEMS型 ...
アクチュエータの種類、駆動メカニズム、今後の展望 (2024年4月 ...
Publication/Awards - MEMS Lab, IIS, The University of Tokyo
Microactuators technologies for biomedical applications
研究者詳細 - 田口 良広
産総研:「リアルな触覚再現技術」で触覚を「共有」へ