ウェブ半導体製造における黒鉛材料. 田尾 理恵. 著者情報. キーワード: Silicon semiconductor , SiC semiconductor , Single crystal growth , Epitaxial growth , Graphite , Characteristics at high temperatures. ジャーナル 認証あり. 2023 年 2023 巻 304 号 p. 81-87. DOI https://doi.org/10.7209/tanso.2023.81. 詳細. 記事の概要. 抄録. 引用文献 (24) 著者関連 …