2つの表面の距離のばらつきに基づく、シンプルで安定した静電容量検出原理を利用しています。 2つの表面の静電容量 (蓄電量) は、距離と、重なり領域によって異なります。 3D MEMSセンサは、堅牢な構造で、慣性力と圧力に敏感ですが、他の環境変動要因や故障原因には反応しません。