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  1. jaxa.jp
    https://www.ard.jaxa.jp/library/pamphlets/pdf/saizensen2.pdf
    [PDF]

    宇宙機用の部品として MEMSの研究 Vol - JAXA 研究開発部門

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    MEMSジャイロを適用した宇宙用小型IMUの開発検討 - JST
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    宇宙用高精度MEMSジャイロの開発 | JAXAオープンラボ ...
    aerospacebiz.jaxa.jp
    宇宙開発におけるMEMSの役割 - 日本郵便
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    宇宙用部品の戦略的研究開発｜JAXA｜研究開発部門
    kenkai.jaxa.jp
    宇宙航空用超 高性能 MEMS ジ ー プ - 日本郵便
    jstage.jst.go.jp
    宇宙転用可能部品の宇宙適用ハンドブック - JAXA
    sma.jaxa.jp
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  2. holdings.panasonic
    https://holdings.panasonic/jp/corporate/technology/...
    [PDF]

    MEMS技術の課題と展望

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    MEMSとは？具体的な活用事例や今後の成長性 | コラム ...
    mresearch-media.net
    MEMS商用化技術の現状と今後の展望 - 日本郵便
    jstage.jst.go.jp
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  3. JAXA
    https://www.kenkai.jaxa.jp/kakushin/inter…

    JAXA／MARINインタビュー｜JAXA｜研究開発部門 革 …

    Web大型の衛星やロケットで使っている機器ほどの精度はありませんが、MEMSのジャイロや加速度計は、短時間であれば宇宙機でも使えるようになってきています。 「MARIN」は民生品を使って低コスト化したうえで、宇宙固有の放射線耐性要求については、冗長回路技術で対応するもの …

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    「革新的衛星技術実証3号機のテーマ公募」選定結果 ...
    kenkai.jaxa.jp
    革新的衛星技術実証3号機インタビュー｜JAXA｜研究 ...
    kenkai.jaxa.jp
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  4. People also ask
    mEMS って何?
    MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）は，半導体微細 加工などの各種ナノ・マイクロ加工技術を応用して，微小な 機械要素と電気要素を1つの基板上に組み込んだセンサ，ア クチュエータ，さらにはマイクロ流体デバイスなどの微細デ バイス全般のことを示す1）。 MEMS 技術によってデバイスの 小型化だけでなく，低消費電力，高性能化，またウェハレベ ルの一括加工による低コスト化が可能になる。 今日，MEMS は安全，便利，健康など我々の快適な日常生活を支える重要 なデバイスとなった。

    MEMS 研究と応用の最新動向 - J-STAGE

    jstage.jst.go.jp
    MEMS 分野の活性化のためには何が必要ですか?
    今後はこのシステムが積極的に研究者や技術者の研究開発 で利用され，異分野研究者との学際融合的な共同研究による 新しい価値の創造，すなわち「イノベーション」を起こすた めの「場」として活用されることに期待したい。 合わせて MEMS 分野の活性化のためには国内の研究開発の活性化だ けでなく，国を越えて国外の大学・研究機関や企業とも密接 に連携して新たな研究開発やイノベーション創出に取り組む 活動も重要である。 これらの成果がIoT 社会に貢献すること にも期待したい。

    MEMS 研究と応用の最新動向 - J-STAGE

    jstage.jst.go.jp
    富士フイルムのコア技術「mEMS技術」って何?
    圧電材料に関するナレッジと製膜/微細加工/高精度実装技術の融合により、迅速かつニーズにマッチしたMEMS設計・デバイス製造が可能 富士フイルムのコア技術「MEMS技術」について紹介します。

    MEMS技術 | 富士フイルム [日本] - Fujifilm

    fujifilm.com
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  5. J-Stage
    https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/68/7/68_360/_pdf
    [PDF]

    MEMS 研究と応用の最新動向 - J-STAGE

  6. fujifilm.com
    https://www.fujifilm.com/jp/ja/about/rd/te…

    MEMS技術 | 富士フイルム [日本] - Fujifilm

    WebMEMS技術. 特徴ある圧電膜を応用した機械要素部品を設計／製造する技術. 圧電材料に関するナレッジと製膜/微細加工/高精度実装技術の融合により、迅速かつニーズにマッチしたMEMS設計・デバイス製造が可能. 富士フイルムの圧電材料の特徴. インクジェットヘッドへの適用. 逆圧電効果を利 …

  7. MEMS Lab, IIS, UTokyo
    http://toshi.iis.u-tokyo.ac.jp/toshilab/?What+is+MEMS?/Introduction

    What is MEMS?/Introduction - MEMS Lab, IIS, The University ...

  8. 日経クロステック（xTECH）
    https://xtech.nikkei.com/dm/article/NEWS/20120522/219852

    MEMS「試作コインランドリ」の利用が5倍に、放射線センサにも ...

  9. KAKEN
    https://kaken.nii.ac.jp/ja/grant/KAKENHI-PROJECT-18K19040

    KAKEN — 研究課題をさがす | 放射線暴露によって動作不能に ...

  10. 環境省
    https://www.env.go.jp/content/900406300.pdf
    [PDF]

    H2AX DNA MEMS - 環境省

  11. Murata Manufacturing Co., Ltd.
    https://www.murata.com/.../sensor/library/mems-basic

    MEMS技術の基礎知識 | センサ | 村田製作所

  13. Images of MEMS 放射線

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