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    ウィキペディア
    https://ja.wikipedia.org/wiki/MEMSメモリ

    MEMSメモリ - Wikipedia

    サーモメカニカルプローブメモリ. ミリピードメモリ ( en:Millipede memory )という非公式の愛称が付けられており、半導体チップ上の高分子製記憶媒体の熱による変形を 原子間力顕微鏡 で使用されているような カンチレバー で物理的に ナノスケール の ... 詳細

    サマリー

    MEMSメモリとは微細加工技術によって基板上に形成されたMEMSを使用する記憶素子。 詳細

    種類

    複数の形式がある 。
    陽極酸化型プローブメモリ
    ナノ電極リソグラフィとも呼ばれ、チタン金属薄膜の表面をカンチ … 詳細

    概要

    いずれも不揮発性メモリで従来のフラッシュメモリ等の半導体記憶素子とは異なる原理で作動する。現在のHDDでは熱擾乱による磁化の消失の顕在化 … 詳細

    注釈・出典

    1. ^ 6 章 その他メモリ - 電子情報通信学会知識ベース
    2. ^ Cooper, E. B., et al. "Terabit-per-square-inch data storage with the atomic force microscope." Applied Physics Letters 75.22 … 詳細

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  2. ミネベアミツミ製品サイト
    https://product.minebeamitsumi.com/tech/mems/about/...

    MEMSと従来の半導体との違い | MEMSとは ...

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    MEMSと半導体の違いを教えて下さい＞＜！ - Yahoo知恵袋
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    MEMS半導体 – 半導体とは？初心者サイト
    handoutai.net
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  3. ビジネス+IT
    https://www.sbbit.jp/article/cont1/47642

    MEMS（メムス）を簡単に解説。マイクやセンサに活 …

    ウェブ2021年1月6日 · MEMS（メムス）を簡単に解説。. マイクやセンサに活用の技術、LiDARなど将来性は？. 現代のスマートフォンは、電話機能はもちろんだがWeb閲覧や ...

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    MEMS市場世界ランキングトップ30社を発表、Yole：市場 ...
    eetimes.itmedia.co.jp
    MEMSはスマホにも自動運転にも、日本製造業の救世主 ...
    xtech.nikkei.com
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  4. Orbray株式会社
    https://orbray.com/magazine/archives/3205

    MEMS技術とは？ スマートフォンや光通信に欠かすことのできな …

  5. 他の人はこちらも質問
    mEMSって何?
    MEMSは、「Micro Electro Mechanical Systems」の頭文字を取ったものであり、「メムス」と読む。 日本語では、「微小電子機械システム」と訳される。 シリコンウェハーなどの上に、電子回路やセンサ、機械的に動くアクチュエーターなどを作りこんだ部品だ。 半導体集積回路の製作技術などを利用している。 MEMSは、電子回路に加え、センサやアクチュエーターなどの可動部を動かすための立体構造を備えている。 対して、MEMSと混同されやすい半導体集積回路は、基板上で電気信号を処理することに特化している。

    MEMS（メムス）を簡単に解説。マイクやセンサに活用の技術

    sbbit.jp
    電子機器の「mEMS」って何?
    電子機器には多種多様なセンサが活用されていますが、近年、華々しく活躍しているのは、MEMS (メムス/Micro Electro Mechanical Systems：微小電気機械システム)と呼ばれるテクノロジーを活用したMEMSセンサ。 MEMSとは、半導体素子の微細加工技術を応用・発展させ、シリコン基板上にセンサを回路や可動機構などと一体化して量産する技術です。 スマートフォンにも、MEMSマイクやモーションセンサ、気圧センサなど、各種MEMSセンサが搭載され、小型･軽量化とともに、さらなる多機能・高機能化に貢献しています。 米国西部のモニュメントバレーは、映画ロケ地としても有名な観光スポット。

    「MEMS技術」と小型マイクロフォン｜TDKのコアテクノロジー

    tdk.com
    mEMSデバイスとは何ですか?
    MEMSデバイスは、センサーやアクチュエーター、スイッチなどの機械要素部品と各種の電子部品を、シリコン、ガラス、有機材料などの基板上に、微細加工技術を用いて集積したものです。 非常に小さく、様々な機能を備え、低電力でも機能させることができます。 スマートフォンやIoT機器、光通信機器など、小型、省電力化とともに、高機能化や高精度化を目指す製品には欠かすことができません。 半導体素子の製造のように、一度に多くのデバイスを製造することができるので、コストを下げることもできます。 一般的な半導体素子とは異なり、数mm程度のサイズの中に、ミクロンオーダーの立体的な構造を持ち、多くのMEMSデバイスは、機械的に動作する可動部を有しています。

    MEMS技術とは？ スマートフォンや光通信に欠かすことのできない

    orbray.com
    mEMSデバイスの製造プロセスにおけるキーテクノロジーは何ですか?
    MEMSデバイスの製造プロセスにおけるキーテクノロジーとなるのは、フォトリソグラフィ、エッチング、そして堆積法です。 フォトリソグラフィは写真製版技術とも呼ばれるように、写真現像のプロセスを応用させた微細加工技術です。 シリコン基板にレジスト (感光性材料)を塗布し、フォトマスクをかぶせて紫外線などで露光・現像すると、マスクパターン通りにレジストが残ります。

    「MEMS技術」と小型マイクロフォン｜TDKのコアテクノロジー

    tdk.com
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  6. rs-online.com
    https://jp.rs-online.com/.../ideas-and-advice/mems-guide

    MEMS（メムス）とは何か？実際の活用例や普及の背景につい ...

  7. TDK Corporation
    https://www.tdk.com/ja/tech-mag/core-te…

    「MEMS技術」と小型マイクロフォン｜TDKのコアテ …

    ウェブ2021年4月28日 · スマートフォンやスマートスピーカなどに使われるMEMSマイク. 半導体技術から派生して生まれたMEMSデバイス. 米国西部のモニュメントバレーは、映画ロケ地としても有名な観光スポット。 大地から約300mもの高さでそそり立つ岩山は、スペイン語で「テー …

  8. Murata Manufacturing Co., Ltd.
    https://www.murata.com/.../sensor/library/mems-basic

    MEMS技術の基礎知識 | センサ | 村田製作所

  9. ミネベアミツミ製品サイト
    https://product.minebeamitsumi.com/tech/mems/about

    MEMSとは | MinebeaMitsumi MEMS Room

  10. ミネベアミツミ製品サイト
    https://product.minebeamitsumi.com/tech/mems/about/...

    MEMSを支える技術 | MEMSとは | MinebeaMitsumi MEMS Room

  11. ウィキペディア
    https://ja.wikipedia.org/wiki/MEMS

    MEMS - Wikipedia

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