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  2. マーケティングリサーチコンシェルジュ
    https://www.mresearch-media.net/column/me…

    MEMSとは？具体的な活用事例や今後の成長性 | コラ …

    ウェブMEMSは「Micro Electro Mechanical Systems」の略語で、微小な電子機械システムという意味を持ち、全長が数mm単位、使用する部品のサイズがμmクラスの非常に小さなデバイスです。. 構造はシリコン基板やガラス基板、有機材料などに、センサーやアクチュエータ ...

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    MEMS市場世界ランキングトップ30社を発表、Yole：市場 ...
    eetimes.itmedia.co.jp
    MEMS（メムス）を簡単に解説。マイクやセンサに活用 ...
    sbbit.jp
    自動車業界における MEMS の応用例 - 日本郵便
    jstage.jst.go.jp
    MEMS技術の基礎知識 | センサ | 村田製作所
    murata.com
    MEMSトップ30企業動向を独自分析、日本企業は4社 ...
    xtech.nikkei.com
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  3. NEDOウェブマガジン
    https://webmagazine.nedo.go.jp/practical-realization/...

    "動く"半導体で、さまざまな機器の小型・軽量・高性能化を実現 ...

  4. holdings.panasonic
    https://holdings.panasonic/jp/corporate/technology/...
    [PDF]

    MEMS技術の課題と展望

  5. ビジネス+IT
    https://www.sbbit.jp/article/cont1/47642

    MEMS（メムス）を簡単に解説。マイクやセンサに活 …

    ウェブ2021年1月6日 · マイクやセンサに活用の技術、LiDARなど将来性は？. 現代のスマートフォンは、電話機能はもちろんだがWeb閲覧やメール、カメラ、動画閲覧 ...

  6. 他の人はこちらも質問
    mEMSって何?
    自動的に手ぶれ補正を行うデジタルカメラ、高精細のインクジェットプリンター、家庭で手軽に血圧や心拍数を測定できる自動血圧計などのデジタル機器や、自動車、スマートフォンにいたるまで、私たちの身近な製品には、数多くの「MEMS（Micro Electro Mechanical Systems/微小電気機械システム）」と呼ばれる部品が使われています。 MEMSは、デジタル機器の頭脳ともいえるLSI（大規模集積回路）が処理した内容を機械動作部分へとつなぐ、もしくは物理的な動きや量を測ってLSIに伝える役割を担っており、「動く半導体」のようなものです。

    "動く"半導体で、さまざまな機器の小型・軽量・高性能化を実現

    webmagazine.nedo.go.jp
    MEMS 分野の活性化のためには何が必要ですか?
    今後はこのシステムが積極的に研究者や技術者の研究開発 で利用され，異分野研究者との学際融合的な共同研究による 新しい価値の創造，すなわち「イノベーション」を起こすた めの「場」として活用されることに期待したい。 合わせて MEMS 分野の活性化のためには国内の研究開発の活性化だ けでなく，国を越えて国外の大学・研究機関や企業とも密接 に連携して新たな研究開発やイノベーション創出に取り組む 活動も重要である。 これらの成果がIoT 社会に貢献すること にも期待したい。

    MEMS 研究と応用の最新動向 - J-STAGE

    jstage.jst.go.jp
    「mEMSプロジェクト」ってなに?
    「MEMSプロジェクト」開始当時、MEMSは既に自動車用加速度センサーやインクジェットプリンタヘッドなど一部の分野で既に実用化が始まっており、2003年度時点でMEMSを活用した製品は、国内で約5,000億円の市場を形成していると推定されていました。 今後は、通信分野、化学・バイオ分野などを中心に、1兆円を超える産業に成長すると見込まれており、その実現のためには、MEMS技術の更なる高機能化や高度化、それらを実現するための製造技術の確立が求められておりました。 そこで「MEMSプロジェクト」では、比較的短期に大きな市場形成に寄与すると期待されている高周波MEMS、光MEMS、センサーMEMSの実用化に必要な製造技術の開発を目指して実施しました。

    "動く"半導体で、さまざまな機器の小型・軽量・高性能化を実現

    webmagazine.nedo.go.jp
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  7. J-Stage
    https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/68/7/68_360/_pdf
    [PDF]

    MEMS 研究と応用の最新動向 - J-STAGE

  8. Azbil Corporation
    https://www.azbil.com/jp/corporate/pr/library/r…

    アズビルMEMSの歴史と今後の展望 - Azbil

    ウェブ今回は主要なMEMSセンサの歴史や技術，特長を紹介するとともに，今後の展望について述べる。 1．はじめに. MEMSとはMicro Electro Mechanical Systems（微小電気機械システム）の頭文字をとった略称であり，電子デバイスの中に電気的な要素だけではなく，3次元的な加 …

  9. 電波新聞デジタル
    https://dempa-digital.com/article/151852

    【製造技術総合特集】MEMS産業の状況と今後の進展 …

    ウェブ2021年1月7日 · MEMS（Micro Electro Mechanical Systems：微小電気機械システム）とは、半導体製造技術やレーザー加工技術など各種の微細加工技術を応用し、微小な電気要素と機械要素を一つの基板上に組み込んだセンサー、アクチュエータなどのデバイス／システムの ...

  10. J-Stage
    https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjspe/76/5/76_5_491/...
    [PDF]

    MEMS商用化技術の現状と今後の展望 - J-STAGE

  11. 一般財団法人マイクロマシンセンター
    http://mmc.or.jp/research/report/report-list/PDFreportMokuji/...
    [PDF]

    MEMS の過去 30 年と 今後 20 年の技術展望

  12. 日経クロステック（xTECH）
    https://xtech.nikkei.com/atcl/nxt/column/18/00001/08385

    MEMSトップ30企業動向を独自分析、日本企業は4社ランクイン ...

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