SOG（spin-on-glass） | 半導体用語集 |半導体/MEMS ...
ウェブ英語表記：spin-on-glass. SOG液は、膜となるシロキサン成分と溶媒としてのアルコールなどから調整される。 この溶液をスピンコート法により基板上に塗布し、熱処理で溶媒などを蒸発させ、膜を硬化するとSOG絶縁膜が形成される。 SOGとは、これら溶液と形成される膜の総称である。 SOGは、シロキサンの構造により、シリカガラス、 …
半導体塗布絶縁材料 | ラサ工業株式会社
ウェブスピン・オン・ガラス (SOG)とは. 0.1～1μm程度のガラス膜をスピンコートで形成する材料です。 主に半導体の配線上に形成された層間絶縁膜の段差緩和や配線間の溝埋め込み（Gap Fill）に用いられます。 液体の塗布という特徴を活かして、ウエハー上のパターン凹みを容易に埋め込むことができますので、再現性良く配線の平坦化ができま …
Spin-On-Glass SoG Applications, Benefits | University Wafer
ウェブ2018年10月1日 · The planarized spin - on glass (SOG) - forms next to the first silicon oxide layer. The high selectivity of etching is crucial to remove the previous etching step and protect the metal from etching. In our work, the suction is applied to a glass layer and the CVD (silicon oxide barrier layer) is slowly etched.
SOGの意味・役割とは？【半導体プロセス】 | 「楽読書」.com
ウェブ2023年7月3日 · 半導体プロセスにおけるSOGとは「Spin on Glass」の略で、0.1～1μm程度のガラス膜をウエハ上に成膜するための溶液です。 半導体プロセスでSOGを使用する主な目的は、ウエハ表面の平坦化です。 上図のように、ウエハ表面の段差部分にSOGを塗布することで、段差による膜の凹凸を平坦化させます。 イメージ …
ウェブHoneywell’s Accuglass® spin-on glass (SOG) mate-rials differ significantly from other spin-on materials used in IC fabrication technology such as. photoresist or polyimide. Compared to a typical photoresist, these solutions usually have much lower viscosities (1 to 3 cP), more volatile solvents and are sometimes acidic.
Spin On Glass | Stanford Nanofabrication Facility
ウェブPreferred Short Name: SOG. Chemical Formula: Various SOGs. Spin On Glass (SOG) is made up of Silicon Oxides suspended in solvents. Formulations can also include doping materials. SOGs are deposited using a spin coater. PROM requests. Request to use SOG in SNF. Spin On Glass (SOG) is made up of Silicon Oxides suspended in solvents.
塗布シリコン酸化膜（SOG : Spin 0n Glass） | 半導体用語集 ...
ウェブ英語表記：SOG : Spin 0n Glass. 有機溶媒中に溶かされた絶縁膜材料をウェハ上に回転塗布し,塗布後の熱処理工程により薄膜を形成する方法を塗布法 (SOD : Spin On Deposition) と呼び、塗布法で形成された薄膜を塗布膜と呼ぶ。 一般的な熱処理工程は、乾燥、べークと呼ばれる溶媒を揮発させる熱処理と、キュアと呼ばれる熱硬化を行 …
Spin-on Glass (SOG) - Honeywell
ウェブSpin-on Glass (SOG) Electronic polymers with industry proven performance for metal and poly planarization, overcoat passivation, and gap fill in the manufacture of integrated circuits. They offer high thermal stability and minimal wafer thickness variation. As a leading supplier of microelectronic polymers to the semiconductor industry we ...
ウェブThe 'spin- on-glass' films can be applied as sources of dopants for diffusion processes, and also as catalytic, sensor, dielectric, pro- tective, masking coatings or as getters or planarizing layers. This way of
Spin-on Glass (SOG)
ウェブSpin-on Glass (SOG) Electronic polymers with industry proven performance for metal and poly planarization, overcoat passivation, and gap fill in the manufacture of integrated circuits. They offer high thermal stability and minimal wafer thickness variation.
コンテンツに移動