「MEMSでなんとかならないの?」 | 宇宙科学研究所
ウェブMEMSとは、半導体（特にシリコン）の微細加工技術を応用した微細構造素子ならびに加工技術全般を指す。. 我々電気電子工学の立場では、電圧、電流、電荷、電力といった「電の字の付く世界」と、機械・熱・流体といった「電の付かない世界」との間で ...
宇宙用高精度MEMSジャイロの開発 | JAXA新事業促進部
ウェブ共同研究の背景及び概要. ロケットの慣性航法ユニット（IMU）に内蔵されるリング・レーザ・ジャイロ（RLG）に代わり、民生分野で広く普及するマイクロマシニング技術（MEMS）を用いた宇宙用高精度MEMSジャイロ※を共同研究する。. 本研究では、MEMSジャイロ ...
ウェブ宇宙環境で利用するために. 「私たちは、7年ほど前から宇宙機に使うためのMEMSを研究しています」と話すのは、電子部品・デバイス・材料グループの加藤真耶開発員です。. 小型軽量でエネルギー消費量も少ないMEMSは、宇宙用の部品として非常に魅力的で ...
宇宙開発におけるMEMSの役割 - J-STAGE
ウェブ宇宙開発におけるMEMSの役割. —ロケットの限られた空間に高性能・多機能・高信頼を詰め込む技術— 三田 信. 著者情報. キーワード: MEMS , 宇宙 , 科学観測衛星 , 衛星の姿勢制御. ジャーナル 認証あり. 2015 年 135 巻 11 号 p. 772-775. DOI https://doi.org/10.1541/ieejjournal.135.772. 詳細. 記事の概要. 抄録. 引用文献 (22) 著者 …
JAXA／MARINインタビュー｜JAXA｜研究開発部門 革新的衛星 ...
ウェブ高性能・小型軽量・低価格の冗長MEMS IMUを軌道上で実証し、ロケットや探査機に適用する. 国立研究開発法人 宇宙航空研究開発機構 研究開発部門第四研究ユニット. 松本 秀一 研究領域上席. 小見山 瑞綺 研究開発員. ロケットや人工衛星の国際競争力を高める ...
マルチIMU方式による慣性センサの高精度化｜JAXA｜研究 ...
ウェブ民生MEMS慣性センサの複合方法・信号処理方法を工夫し、ジャイロセンサのバイアス安定性の改善、加速度センサの低ホワイトノイズ化を達成することで、搭載リソースが限られた分野での新機能実現（方位角の検出、地球レートの検出など）を目指します。 （本研究は、2018年度～2019年度の、ソニー（株）R&Dセンターとの共同研究成果で …
ウェブ宇宙航空. 用超. 高性能. MEMS. ジャ イ 囗. 1 .はじめに. MEMS (Micro Electro Mechanical Systems, メ. ムス),あるいはマイクロ. マシンと呼ばれる技術やデバイスが世に出て久しい.とくに加速度センサは有名であろう. それどころか,今では,加速度センサと呼ばれるもので. MEMS. でないものを見つけるほうが難しいかもしれない. さらに,最近で …
宇宙でも高い精度を実現！ 意識の変革が生み出したMRN-01 ...
ウェブ最も大きな壁は「宇宙」という特殊なフィールドで、性能を発揮するための多種多様な条件をクリアすることでした。例えばロケット打ち上げ時にかかる振動と衝撃にどう対応するか。ジャイロ開発をするうえで、振動や衝撃への知見と対策は当社
IMU、センサー高精度化 | そらを読む未来を知る | JAXA航空 ...
ウェブ2022年10月28日 · ソニーのR&Dセンターでは、この高精度IMUを、複数の民生用の安価で小型の微小電気機械システム（MEMS）-IMUの組み合わせにより実現する研究開発を進めていた。 個々のセンサー誤差を、大数法則により平均化し、誤差を収斂させるという発想だ。 実現すれば、地上の電子機器だけではなく、宇宙空間にもセンサーの応 …
ウェブこで本稿では幅広い読者を対象に，宇宙用推進機への MEMS技術の応用の現状と課題について著者らの研究開 発とあわせて報告する． MEMSは半蒋体微細加工をベースとして，主としてシ リコン基板上に三次元的な構造と可動部を設ける
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