MEMS【マイクロマシン】とは、マイクロメートル単位の微小な機械部品やセンサー、電子回路などを組み合わ複合的な電子部品。 特に、半導体製造技術を応用し、電子基板上に機械的な仕組みと制御用の集積回路を一体的に形成したものを指すことが多い。

「MEMS」の意味 MEMS（メムス）とは。 意味や使い方、類語をわかりやすく解説。 《micro electro mechanical systems》半導体集積回路の製造に用いられる微細加工技術を応用し、モーターや駆動系などの機構を組み込んだ超小型の機械システム。

MEMSとは MEMSとは「Micro Electro Mechanical Systems」の略で、日本語に直訳すると「微小電気機械システム」といいます。 半導体集積回路の製作技術を発展さ微細加工（マイクロマシニング）により、数十μm単位の歯車などの「動く部品」や立体物をシリコンやガラスといった薄い基板（ウエハ）の上に制作します。

MEMSとは微細加工技術によって、機械要素部品,電子回路,センサ,アクチュエータを一つの基板上で集積化した高付加価値デバイスです。

MEMSはシリコンウエハなどの上に、電子回路とセンサーやアクチュエーターなどの機械要素を立体構造で作りこんだ部品のことを指します。